|
Trường Đại học Công nghệ
Trưởng Phòng: GS TS Nguyễn Hữu Đức
E-mail: ducnh@vnu.edu.vn
Các thiết bị chính:
Hệ thống chế tạo vật liệu: Hệ phún xạ 3 súng, Hệ phún xạ 6 súng; Hệ ngưng tụ xung Laser (LPD);
Phòng sạch quy mô nhỏ (Small-scale Clean Room) với các thiết bị xử lý phiến Si 4-inch; Hệ quang khắc UV; Máy phun phủ, Wetbench; Hệ ăn mòn khô, Máy hàn phiến; Máy hàn dây v.v…
Các thiết bị phân tích: XRD; AFM, SEM, TEM…
Các thiết bị đo, đặc trưng tính chất vất kiệu, linh kiện: Lake Shore VSM; Hệ đo từ giảo, hệ đo từ tính v.v…
Các hướng nghiên cứu chính:
Công nghệ chế tạo, tính chất đặc trưng của các vật liệu và linh kiện micro-nano đa chức năng
Công nghệ Nanô Sinh học
Thiết kế, chế tạo và nghiên cứu các đặc trưng của các vật liệu chức năng, các cảm biến và linh kiện trên cơ sở các vật liệu chế tạo được, thử nghiệm ứng dụng trong các phép đo từ trường siêu nhỏ, đo ứng suất, đo độ dịch chuyển; các loại đầu ghi và đọc thông tin; các chip sinh học (biochip) phục vụ phát hiện nhanh các phần tử sinh học và vật liệu có khả năng kháng khuẩn;
Nghiên cứu chế tạo các vật liệu hữu cơ, lai và tổ hợp, lai hữu cơ cho linh kiện phát quang (OLED), pin mặt trời polymer, pin quang điện hóa và pin ion rắn;
Nghiên cứu các quy trình công nghệ chế tạo các vật liệu chức năng mới cấu trúc micro-Nano: vật liệu từ tổ hợp (multiferroics), vật liệu từ dạng hạt được bọc và chức năng hóa bề mặt; vật liệu tổ hợp phát quang hữu cơ, vật liệu quang điện hóa Nano, polymer chức năng; vật liệu sắt điện và tổ hợp
MEMS và ứng dụng: nghiên cứu chế tạo các hệ vi cơ điện tử và các linh kiện, thiết bị cảm biến MEMS và các linh kiện vi chấp hành
Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng các thiết bị vi lưu (micro- and nanofluidics)
Các sản phẩm, thành tựu chính:
Cảm biến từ trường siêu nhạy trên cơ sở hiệu ứng từ - điện, điện – từ dùng làm thiết bị định vị trong các thiết bị di động, các thiết bị thu phát tín hiệu vệ tinh di động.
Thiết bị đo từ trường cường độ nhỏ và siêu nhỏ; đo, xác định định vị Từ trường.Trái Đât
Cảm biến MEMS dùng cho các thiết bị điều khiển, dùng cho điều khiển thiết bị bay
Cảm biến sinh học và Chips Sinh học (Biochips);
Kits xét nghiệm xác định vi khuẩn và siêu vi khuẩn v.v…
|
.jpg)
